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高分解能フィードバックステージシステムを製造販売しています。
フィードバックステージシステムは自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
1nm、5nm、10nm、50nm、100nm分解能のステージをラインナップしており、その他ご希望があれば、特注ステージもお受けいたします。
光学、通信等の研究用途や精密部品の検査用途で長年培ってきた「ノウハウ」によって、お客様のご要望に合ったステージをご提供いたします。