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THKプレシジョン(株)

住所 〒144-0033
東京都大田区東糀谷4-9-16 THKテクノセンター2F
TEL 03-5735-5086
FAX 03-5735-5087
URL https://www.thkprecision.co.jp
E-mail info@thkprecision.co.jp
設立年 2002年
資本金 50,000,000円
従業員数 15名
代表取締役社長 飯田 克彦
  最終更新日:2024年03月13日

OPIE '24 出展の見どころ

超精密位置決め機器の各種ラインナップを展示します。

デバイスの微細位置調整やミラー・レンズの光軸合わせなど、装置組み込みから研究開発用途において最適な機器をご提案します。

レーザー関連装置をはじめ、分析機器/AFM/MEMS/半導体工学/微細加工/バイオテクノロジー/光集積技術など、
ナノメートルスケールのテクノロジーやナノ計測の場で要求される
”高精度ポジショニング”についてご相談ください。

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企業PR

精密・超精密位置決め機器の専門メーカです。
デバイスの微細位置調整やミラー・レンズの光軸合わせなど、装置組み込みから研究開発用途において最適な機器をご提案します。
レーザー関連装置をはじめ、分析機器/AFM/MEMS/半導体工学/微細加工/バイオテクノロジー/光集積技術など、
ナノメートルスケールのテクノロジーやナノ計測の場で要求される
”高精度ポジショニング”についてご相談ください。

THKプレシジョン(株) 取り扱い製品

超精密位置決めピエゾステージ

超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』のシリーズです。
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップしております。
真空、非磁性などの特殊環境での使用にも対応しています。

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超音波モータステージ

超音波モータステージ

数十mmの移動範囲を20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

<特徴>
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

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微小力センサ

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』です。
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置への組み込みが容易です。

<使用例>
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定

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超精密位置決めピエゾステージ

超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』のシリーズです。
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップしております。
真空、非磁性などの特殊環境での使用にも対応しています。

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超音波モータステージ

超音波モータステージ

数十mmの移動範囲を20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

<特徴>
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

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微小力センサ

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』です。
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置への組み込みが容易です。

<使用例>
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定

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ピエゾLegsモーターステージ

ピエゾLegsモーターステージ

コンパクト・低消費ながら高い推力を備え、電源OFFでもポジション維持を行える20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

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