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(株)ウィックス

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  最終更新日:2020年10月05日

(株)ウィックス 取り扱い製品

真空中パーティクルモニタ

真空中パーティクルモニタ

大気~真空中のパーティクルをモニターします。①プロセスチャンバーあるいは排気ラインへの挿入、②チャンバー内への設置に対応し、パーティクルをリアルタイムで計測できます。パーティクル発生状況を監視することで、歩留・品質を左右するパーティクルの対策にご活用頂けます。

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インフィコン社製質量ガス分析計(RGA)

インフィコン社製質量ガス分析計(RGA)

インフィコンTranspectorシリーズは、業界最先端性能で、プロセス改善、工程管理に寄与します。用途に応じ蒸着向けMPS/MPH、スパッタ向けXPR3+、複合プロセス向けCPMを取り揃えています。 

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インフィコン社製水晶振動子、膜厚コントローラ・モニター・センサー

インフィコン社製水晶振動子、膜厚コントローラ・モニター・センサー

金、銀、アルミ合金電極の3種類各5MHz、6MHzと、各種膜厚センサー、複雑なプロセスに対応した膜厚コントローラから手軽にご活用頂ける膜厚モニターまでラインナップを取り揃えています。

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