住所 | 〒244-0002 横浜市戸塚区矢部町12-1 さのやビル2F |
---|---|
TEL | 045-870-4784 |
FAX | 045-870-4783 |
URL | http://www.wexx.jp |
最終更新日:2020年10月05日 |
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最終更新日:2020年10月05日 |
大気~真空中のパーティクルをモニターします。①プロセスチャンバーあるいは排気ラインへの挿入、②チャンバー内への設置に対応し、パーティクルをリアルタイムで計測できます。パーティクル発生状況を監視することで、歩留・品質を左右するパーティクルの対策にご活用頂けます。
インフィコンTranspectorシリーズは、業界最先端性能で、プロセス改善、工程管理に寄与します。用途に応じ蒸着向けMPS/MPH、スパッタ向けXPR3+、複合プロセス向けCPMを取り揃えています。