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(株)岡本工作機械製作所

住所 〒379-0135
群馬県安中市郷原2993
TEL 027-385-6211
FAX
URL http://www.okamoto.co.jp
E-mail r.okamura@okamoto.co.jp
設立年 1935年
資本金 4,800,000,000円
従業員数 2,173名
代表取締役 石井常路
  最終更新日:2024年01月31日

企業PR

当社は設立以来80年、古くは歯車研削を原点に、「総合砥粒加工機メーカー」として工作機械や半導体関連装置の分野で、高品質・高精度な製品づくりを支え、関係する皆様とともに、次世代の「ものづくり」に貢献してまいりました。

日本企業の海外進出が希少だった40年前からグローバルな視点を持ち、シンガポールに汎用マシンの製造工場、タイには鋳物生産から部品製造、組み立ての一貫生産体制を築いたほか、販売・サービスの拠点を海外に展開してまいりました。長年培ってきた確かな技術と品質を武器に日本国内はもとより、世界中のお客様より信頼を得ております。創業100年を目指し、お客様や従業員、社会のために当社の発展を見据え、世界中のオカモトグループ社員とともに協力し、当社グループ総合力の更なる向上に尽力してゆく所存です。

当社は「技術は正しく」を社是に掲げております。品質的な精度はもちろん、理想はお客様が求めるもののその先を創造することだと考えております。世界に類のない「総合砥粒加工機メーカー」として、これからも挑戦を続けてまいります。

引き続き、皆様のご愛顧とご指導を賜りますよう、よろしくお願い申し上げます。

(株)岡本工作機械製作所 取り扱い製品

CMPマシン SPP600S

CMPマシン SPP600S

コンセプト

使いやすさと環境に配慮したフレンドリーCMP装置

特徴

・研究開発用途に最適なマニュアルタイプのCMP装置です。表面基準、裏面基準の各種加圧方式に対応。加工状況が1画面で全て把握できるユーザーフレンドリな画面構成となっています。

・プライマリータイム設定により、常に安定したデータ収集が可能です。本機で得られたデータは全自動ポリッシャーPNX332Bと相互にリンクでき、そのまま転用可能。

・取り代10um以上を研磨してもウェーハ形状を崩すことはありません。専用のドレッサー軸を持ち、ダイヤモンドドレッサーにも対応しています。さらに、スラリーのリサイクル機構を持つなど、環境にも配慮した設計となっています。

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ラッピングマシン SPLシリーズ

ラッピングマシン SPLシリーズ

コンセプト

省スペース、コンパクトなラップ盤から大型ラップ盤まで対応

特徴

・電子材料、金属材料、オプチカルフラット、セラミック,SiC,GaN等の加工工程において、ナノレベルの平坦性及び面粗さを得るためには、様々な条件でも適応可能なラッピングマシンが必要です。当社のラッピングマシンはお客様のご要求に合わせて装置サイズ、ワーク保持方法、テーブル材、スラリーおよび機能の選択が可能なラインナップになっております。どの機種も操作性に優れ量産性に適したラッピングマシンです。

またオプションとして高精度フェーシング装置を付属可能です。プログラム設定にて全自動での定盤形状の修正および溝入れ加工が可能です。

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大型ピッチポリッシングマシン  SPP9600

大型ピッチポリッシングマシン  SPP9600

特徴

[SPP9600]

・ピッチポリッシャーはオプチカルフラットや高精度の反射鏡、光学ガラス、金属製品では精密測定機のベース基準面など、絶対平面と鏡面が要求される加工に対応できる装置です。この装置で得られる平面度は1㎡で30nm。200mの東京ドームに例えれば、球場内の高低差が0.006mmであることに相当します。

・また、装置特徴としては、長期間に渡る精度維持のため、テーブルには熱変異を最小限に抑えるため専用の御影石を使用し、専用定盤修正コンディショナー及び、超高精度門形フェーシングユニットにて常に最高レベルの加工状況を実現します。

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大型オスカータイプポリッシャーSPP3800

大型オスカータイプポリッシャーSPP3800

[SPP3800]

・対角寸法最大2400mmのプレートに収納できる世界唯一の10世代用液晶フォトマスク対応の高精度オスカータイプポリッシングマシンです。

ワークを保持するワークヘッドはワークの交換時105度旋回するため、ワークの着脱作業が容易に行えます、また本機の研磨部は錆の発生しない材料と発塵の少ない構造を採用して、ワークのスクラッチを防止しています。

・ポリッシングテーブルはグラナイトを使用して、研磨加工による熱変形を最小限にすることで、テーブルの平面度の変位を防止します。また、研磨スラリはワーク両側及び研磨パッド中心から供給されるため、ワーク全面にわたり安定したスラリの供給が可能です。

・研磨テーブルに加圧されたワークヘッドを半径方向に揺動するアームで、揺動と昇降機能を備えています。この装置の揺動機構は、ACサーボモータで駆動されているため、プロセス実行中に揺動速度、揺動角度および加圧力を変えることが可能です。

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スライシングマシン ASM420M / ASM200BR

スライシングマシン ASM420M / ASM200BR

シリーズラインナップ

ASM75A・ASM100A・ASM200・ASM200BR・ASM420M

コンセプト

日本で初めて脆性材、ゲルマニウムの切断機を開発して以来、半導体材料、電子部品材料等、常にユーザーニーズに応えるべく様々なスライシングマシンの開発をしてまいりました。

特徴

・内周式スライサーはシリーズ化し各サイズに対応しています。切断送り案内面の真直度、スピンドル回転精度は長年の工作機械設計製作で培った技術を基に高精度化しています。また、機械振動は振幅レベルで1μm以下を保証した高精度機です。

・マルチスライサーASM420M⇒高剛性スピンドルと高出力モータの組み合わせにより、高能率スライス加工を実現したマルチスライサーです。砥石ヘッドとコラムが一体構造の沈みコラム機構を採用。剛性が高く安定した加工精度が得られます。また主軸モータに5.5kwの高主力タイプを標準装備。マルチホイールによる負荷容量の高い加工が可能です。

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