現在の洗浄工程は“ワーク”を傷つけていませんか？

ＵＶ光を使えば、ワーク にも環境にも優しい洗浄工程が可能です。

クォークテクノロジーは、ＵＶ光源専門メーカとして高付加価値なＵＶ光をご提供いたします。
世界初の「面発光エキシマＵＶ照射装置」は、マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。
弊社独自技術の面発光のランプにより歩留まり向上、タクトタイム短縮、品質向上に貢献いたします。

その他、UV硬化用UV-LED、UVレーザーのUV光源を用途に合わせてご提案いたします。