住所 | 〒2130032 神奈川県川崎市高津区久地4-26-41 |
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TEL | 044-811-3421 |
FAX | 044-811-2238 |
URL | https://www.koenn.co.jp/ |
設立年 | 1973年 |
資本金 | 27,000,000円 |
従業員数 | 17名 |
代表取締役 | 野見山 望 |
最終更新日:2025年02月16日 |
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株式会社工苑は、イスラエルのNanomotion社製超音波モータおよびそれを搭載した精密ステージを提供しております。Nanomotion社の超音波モータは、超音波定在波の原理を利用し、高速移動と精密位置決めを両立させています。
今回の展示会では、光学装置における超音波モータの多彩な応用事例をご紹介いたします。
特にハンディタイプの装置に適した小型・軽量のEDGEシリーズ、低軌道衛星のスタビライザで採用されたHRシリーズ、そして1nmの位置決め精度を実現するSEシリーズなど、各種モータの特長と実績を展示いたします。
Nanomotion社の超音波モータは、非磁性であるため、MRIなどの高磁場環境や磁場の影響を嫌う半導体製造装置内でも安心してご利用いただけます。
また、無通電時でもステージを保持するホールディングトルクを維持し、位置ズレやヒステリシスを気にせず使用できます。
さらに、Nanomotion社のモータは、真空環境や超高真空環境にも対応しており、クリーンルームでの使用も可能です。 そのため、半導体装置の真空チャンバ内でのウェハ搬送や電子顕微鏡などの微動にも採用されています。
ぜひ弊社ブースにお立ち寄りいただき、Nanomotion社の超音波モータがもたらす革新的な技術をご体感ください。皆様のご来場を心よりお待ちしております。
取扱海外企業
- Nanomotion