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神津精機(株)

住所 〒215-8521
神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
TEL 044-981-2131
FAX 044-981-2181
URL http://www.kohzu.co.jp/
E-mail salesdivision19571002qdc-kz@kohzu.co.jp
設立年 1957年
資本金 99,653,000円
従業員数 130名
代表取締役社長 内田 好彦
  最終更新日:2026年01月28日

OPIE '26 出展の見どころ

OPIE 2026では、高精度・高剛性を両立した最新の位置決めステージを中心に、光学・検査用途に最適なソリューションを提案します。高精度6軸アライメントや、姿勢変化の少ないXYステージなど、現場の課題に直結する技術を実機デモで体感いただけます。お客様の要求に柔軟に応えるカスタマイズ力もぜひご注目ください。

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企業PR

神津精機株式会社は、1957年創業の精密機器メーカーで、精密位置決め装置や光学測定機器、高精度ステージなどの設計・製造・販売を通じて、研究・産業分野の高度なニーズに応えています。製品は放射光施設や半導体ウェハーのアライメント、材料研究など先端技術分野で活用され、高い信頼と国内外の実績を誇ります。また「技術と誠意で科学(未来)をひらく」という理念のもと、最先端科学技術の発展に貢献することを目指しています。カスタム対応や技術支援も強みとしており、多様な研究機関・企業と連携しています。

神津精機(株) 取り扱い製品

超高精度6軸アライメントステージ

超高精度6軸アライメントステージ

「RSTZシリーズ」はウエハなどの薄型基板をサブミクロンの精度で6軸方向に位置調整することができる画期的なステージです。これまでのアライメントステージは、平面内の調整(X、Y、θz)しかできませんでしたが、「RSTZシリーズ」は駆動ユニットにダブルクサビ方式のパラレルリンク機構を採用したことで、薄型のままで、上下方向(Z)とチルト(θx、θy)の調整も可能となりました。

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高精度300mmストロークXYステージ

高精度300mmストロークXYステージ

全ストロークで安定支持を実現する幅広型Xステージを採用。XY組み合わせ時の垂直方向真直度は7μmを保証。駆動中の姿勢変化を抑え、ワーク位置でも高い位置決め精度を維持します。サーボモーターなど各種モーター変更に対応し、ケーブルベアやリニアスケールの取付も可能です。

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3点支持チルトステージ

3点支持チルトステージ

ウエハやインターポーザーなどの大型基板のレベリング調整に最適なチルトステージです。駆動軸には当社標準の高精度Zステージを採用することで、ローコストでありながら高分解能なチルト制御を実現。テーブルおよびベースは用途に応じて自由設計が可能です。さらに、支点をZステージ側に変更することで、Z・θx・θyの3軸調整に対応し、回転中心位置も自在に設定できます。

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6軸マニピュレータ MPSシリーズ

6軸マニピュレータ MPSシリーズ

液晶プロジェクタ、カメラモジュールの素子貼り付けに最適。

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小型6軸アライメントユニット SMR-6B2

小型6軸アライメントユニット SMR-6B2

スマートフォン、車載などのカメラモジュールの組立に最適。

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ピエゾステージドライバ VIRGO

ピエゾステージドライバ VIRGO

ピエゾとステッピングモータの同期制御を実現!
ナノレベルの誤差をピエゾで補正!

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超小型6軸マニピュレータ  USM-R1C-001

超小型6軸マニピュレータ USM-R1C-001

高精度・高剛性はそのままに、手のひらサイズの小型軽量化を実現。
全軸ボールネジ駆動により、長寿命。安定した精度を長期間持続し、再現します。
<特長>
1.集中コネクタユニット  面倒な多軸配線を容易にします
2.小型・軽量  高速で稼働する搬送軸への搭載が可能です
3.高追従性  直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しています。

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XYθ薄型アライメントステージ  YRA-130

XYθ薄型アライメントステージ YRA-130

XYθの3軸一体構造により、外形の出っ張りを極力抑え、薄型化を実現。
テーブルサイズは□70mmから、210mm×150mmをご用意。
多様なモータの種類変更にも対応可能。

電子部品の評価・接合、画像処理装置、各種検査装置への組み込みに最適です。
指令値通りの位置決めで、リトライ回数を削減できます。

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精密ポジショナー

精密ポジショナー

手動操作で、サブミクロンの位置決めが可能に。(感度:0.05μm)
±0.1dBの調芯操作にも、スムーズに追従します。
独自の内部構造により、高い追従性とノンバックラッシュを実現し、パワーメータを見てのピークサーチもストレスなく作業できます。

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