| 住所 | 〒222-0033 横浜市港北区新横浜2-5-9 新横浜フジカビル8F |
|---|---|
| TEL | 045-473-7109 |
| FAX | 045-473-7209 |
| URL | https://www.filmetrics.co.jp |
| info@filmetrics.co.jp | |
| 設立年 | 2003年 |
| 最終更新日：2023年02月17日 |
膜厚測定のリーディングカンパニーです。ものづくりをする上で膜厚の管理が必要不可欠になりました。膜厚の管理は、製品の信頼性を左右し、原材料の削減にも影響を与えます。私たちフィルメトリクス株式会社は、膜厚測定を通じてお客様のものづくりを支援して参ります。また、日本のものづくりに欠かすことが出来ない膜厚測定を通じて少しでも日本の産業界に貢献することを目指します。
白色光干渉技術を用いたシステムで、非接触で段差・粗さを含む三次元形状の測定ができます。
小型サンプルの測定に適したProfilm3Dは、三次元形状の測定に必要な機能を網羅し、しかも従来品と比較してコンパクト、低価格を実現しています。
ミクロンオーダーの段差や形状の高精度測定に最適な垂直走査干渉法（WLI）と、ナノオーダーの形状測定、粗さの測定に最適な位相シフト干渉法（PSI）の両測定モードの他、各種倍率の対物レンズに対応したリボルバー、自動ステージ、容易なオペレーションと測定データの解析や管理を行うソフトウェアなど、標準段差サンプルを含むすべてが標準装備されています。
XY自動ステージは、100mmｘ100mmと200×200ｍｍがございます。
＜主な特徴＞
・低価格！ 必要な機能を全て装備しながら低価格を実現
・ナノメートルオーダーの高さ分解能 位相シフト干渉法を採用し、高い分解能を実現
・充実の標準装備 X-Y自動ステージ、手動リボルバー、自動光量調整、オートフォーカス機能
・コンパクトな筐体 本体のフットプリントは30×30cmとコンパクトな設計
・WLIとPSIの両測定モードを搭載 段差測定と粗さ測定の両方を1台で測定
・簡単操作 基本操作は簡単なマウス操作だけ
・ISOに準拠した粗さの測定 国際規格 ISO25178 に準拠
・拡張性 各種対物レンズの選択、データステッチング機能
Zeta-20は共焦点顕微鏡システムで、非接触で3次元形状の測定が出来ます。
独自のZDot™テクノロジーを採用し、透明なサンプルや金属表面の段差・粗さ・寸法を測定します。
デュアルLED光源を使い、高反射率部分と低反射率部分を同時に測定する事が出来ます。
＜主な特徴＞
・非接触で3次元形状を測定
・独自のZDot™テクノロジーで高速測定
・段差・粗さ・寸法とTrue color画像イメージを表示
・デュアルLED光源を採用
＜主な用途＞
・マイクロデバイス：マイクロ流体デバイス、マイクロレンズ
・太陽電池：セルの電極
・LED：パターン化サファイア基板
・半導体：バンプ、配線
・医療：マイクロニードル
世界中で5000台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な卓上膜厚システム。研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂けます。F20では光干渉法を基に透明もしくは半透明膜の膜厚・屈折率・消衰係数を１秒程度で簡単に測定できる。マルチポイントでのインライン測定にも対応し、RS-232CやTCP/IPなどの外部通信に対応しているので、PLCやホストコンピューターからの制御も可能です。
＜主な特徴＞
・ワイドレンジの膜厚に対応（1nm〜250μm）
・広い波長領域に対応（190nm〜1700nm）
・パワフルな膜厚解析
・光学定数（屈折率・消衰係数）の解析
・コンパクトな筐体
・インライン測定に対応
F10-RTは、測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システムです。 反射率･透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数を簡単に解析することができます。
USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。
＜主な特徴＞
測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システム
幅広い分光レンジ、各種光源を選択可能
反射率･透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数の解析機能も使用可能
標準整備のカメラで測定位置を同時に記録
サンプルを置くだけ。光学系の調整が全く不要で、驚くほど簡単にセットアップ
＜主な用途＞
フラットパネル PETやガラス基板上のポリイミド、ITO、レジスト、酸化膜、反射防止コーティング、各種光学フィルム
光学コーティング ガラス、メガネ、レンズ等のハードコート
薄膜太陽電池 CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど
F40は顕微鏡式膜厚測定システムです。お手持ちの顕微鏡に取り付けるか、フィルメトリクス社製の分光専用顕微鏡と一緒に使用頂くことで、顕微領域での膜厚測定を可能にします。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に、リアルタイムで膜厚測定をすることが出来ます。F40-UVX 紫外・近赤外顕微鏡モデルなら、顕微領域で紫外から近赤外までの分光膜厚測定を可能にします。
＜主な特徴＞
・お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定が可能（測定範囲は顕微鏡に依存します）
・PCモニター上に顕微鏡の観察画像を表示！測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます
・紫外領域から近赤外領域の光に対応した、フィルメトリクスの膜厚測定専用顕微鏡を使用することで、UVからNIRまでの広い範囲で分光し、膜厚の測定が可能
F50自動マッピング膜厚測定システムは、光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステムです。指定したポイントの膜厚、屈折率を、従来では考えられなかったスピードで測定します。2インチから450mmまでのシリコン基板や透明基板に対応し、任意の測定ポイントを指定することが出来ます。大型ガラス基板に対応したオプション製品もございます。
＜主な特徴＞
・光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム
・指定したポイントの膜厚，屈折率を、従来では考えられなかったスピードで測定
・2インチから450mmまでのシリコン基板に対応し、任意の測定ポイントを指定可
F54 顕微式自動膜厚測定システムは、微小領域での高精度な膜厚・光学定数解析機能と自動高速ステージを組み合わせたシステムです。2インチから450mmまでのシリコン基板に対応し、指定したポイントの膜厚、屈折率を、従来では考えられなかったスピードで測定します。
5倍から50倍の対物レンズに対応し、測定スポット径を1μmから100μmまで用途に応じて選択することが出来ます。
＜主な特徴＞
・光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム
・5倍から50倍の対物レンズに対応し、測定スポット径を1μmから100μmまで用途に応じて変更可能
・2インチから450mmまでのシリコン基板に対応
シリコン基板やガラス基板の厚さ、厚いドライ膜やウエット膜、ポリマーシートやフィルム厚等を高精度で測定できます。独自開発した高波長分解能の分光器を搭載することで、最大3㎜までの厚膜測定を可能にしました。
10μmの小スポット径で粗く不均一な膜の測定が可能になりました。カメラオプションにより測定サンプル画像と測定スポットを確認しながら測定可能。自動ステージを追加することで面内分布も簡単に測定できます。
厚膜の測定を精度よく行いたいお客様にお勧め致します。
＜主な特徴＞
・シリコン基板やガラス基板の厚さを高精度で測定
・独自開発した高波長分解能の分光器を搭載！最大3㎜までの厚膜測定が可能
・10μmの小スポット径で粗く不均一な膜の測定が可能
・自動ステージを追加することで面内分布も簡単に測定
