本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。