| 住所 | 〒433-8119 静岡県浜松市中区高丘北1-40-15 |
|---|---|
| TEL | 053-439-8960 |
| FAX | 053-439-5561 |
| URL | http://www.softworks.co.jp/ |
| info@softworks.co.jp | |
| 設立年 | 1991年 |
| 資本金 | 25,150,000円 |
| 従業員数 | 6名 |
| 代表取締役 | 塩見 俊夫 |
| 最終更新日：2025年02月17日 |
画像処理と光学技術を組み合わせて、
画像処理技術の製品開発および研究開発を行っています。
検査測定専業で、３０年以上の長い歴史と経験を持つ企業です。
多種多様な検査手法のデータベース既に持っております。
精度と速度を両立し高速かつ高精度な画像解析で、
生産性の向上を実現し、コストを最小限に抑えます。
卓上からインライン全自動機まで、さまざまな検査環境に対応します。
本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。
奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭで、操作もノートＰＣから全て行えます。
ＳＥＭやレーザー顕微鏡、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、
スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。
走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択できます。
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定可能で、電磁スキャナーを使用することにより、非線形クリープ、や経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。ステージサイズはサンプルに合わせ、小型から大型まで、ご要望に添います。
全自動全数測定が可能なＡＦＭ測定装置になります。
測定ワークを、カセットに装着しておけば、指定場所を全自動で測定いたします。
今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。
化合物系ウエハー検査装置です。６インチ迄のＳｉｃ、Ｇａｎ、サファイアウエハーなどの、内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つ光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハー厚さ測定を載せる事も可能です。
全自動全数全面測定が可能なスーパーマクロ検査装置になります。
測定ワークを、カセットに装着しておけば、サンプル全面を全自動で測定いたします。
今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。
ＳＩＣや、Ｇａｎの内部欠陥を超高速で検査でき、（１視野１秒以下）サファイア基板の傷検査も
可能です。測定サンプルサイズも標準でφ３００ｍｍ迄対応です
LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの３次元形状を高速に測定する事が出来ます。
バンプサイズが３０μｍ以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では
１０μｍ程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。
新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法に
よってバンプの立体的投影像から３次元形状の測定を行います。
CADデータをマスターとした製品の自動寸法測定が可能。
投影機や測定顕微鏡を用いた製品の寸法測定は手間のかかる作業ですが、電子投影機EP５００は、その煩雑な作業を全て自動化します。また製品を基準としてマスター登録するのでは無くCADデータを基準としての登録が可能です。その為に交差の大きい製品でも測定及び良否判定が可能である上に登録作業を効率良く行う事が出来ます。多品種の製品測定には最適です。カメラは目的によって最適な物を選択する事は当然ですが、光学系も選択が可能です
本装置は高速高解像度カメラと照明系を工夫して小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で、
行います。またレンズ単体とモジュールの双方の検査に対応します。異物や、傷、クラック等の検査も可能。
手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度ＣＭＯＳカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。またインラインにも容易に対応致します。
本装置は板物の反りを高速測定します。ラインレーザー３本を配置して高解像度カメラで撮像する事に
より可動部分無しで全面３ラインの反りデータを瞬時に測定可能です
３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。
近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置す。
ワークを表裏両面から２台の顕微鏡カメラで写し、表裏のマークやパターンズレ測定を行うことができる
高性能でシンプルな構成の手動式装置です。専用検査ソフトで表裏画像合成画面表示と高精度の各種測定が
簡単に行えます。小型かつシンプルな構成サブピクセル処理を行うことで、高精度のパターンマッチング
機能を実現いたします。
本装置は弊社スーパーマクロ光学系を用いて、大視野、超高精検査を可能にしております。（１視野２秒程度）
原理として、シュリーレン干渉計を用いる為、微小な欠陥も見逃しません。従来の目視や顕微鏡検査に比べ、短時間。
高精度ＣＭＯＳカメラリンクラインカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を実現いたします。
また卓上から全自動型インラインにも容易に対応致します。ワークサイズも柔軟に対応させていただきます。
本装置は弊社特殊光学系を用いて、電着工具のダイヤモンド砥粒の外形輪郭を撮像し、大きすぎる砥粒の検出を
自動で行います。従来の目視や顕微鏡検査に比べ、大視野、超高精検査を短時間で可能にしております。。
高精度ＣＭＯＳカメラリンクラインカメラにより、今迄の画像処理システムでは実現できなかった複雑・高速・柔軟なシステムの構築を簡単に実現できます。圧倒的な高精度、高再現性を実現いたします。
２球の径と中心間距離により画像処理校正ができます。また、
2球は5mmφの円の中にありマクロ検査用の校正円に利用できます。
画像測定で傾斜測定を校正する基準スケールマスクです。
外形 W76mm×D26mm×t=2mm 18mmφ穴付きスライドガラス
傾斜マスク 外径20mmφ、T＝1.5mm⇒2mm、目盛り0~10mm
傾斜マスク部 外径20mmφ 傾斜3度 材質：白板ガラス又はBK-7
