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Beneq株式会社

住所 〒220-0012
横浜市西区みなとみらい 4-4-2 横浜ブルーアベニュー12階
TEL 045-274-5273
FAX
URL https://beneq.com/
E-mail toshihiko.nishiyama@beneq.com
設立年 2021年
  最終更新日:2025年01月30日

OPIE '25 出展の見どころ

Beneqはフィンランド、Espooに本社を置き、40年近くの歴史を持つALD成膜装置の製造販売、サービスをグローバルに行っているALDの専門企業です。
今回の出展では、光学系薄膜のアプリケーションや、大容量、3D形、の生産に適したBeneq P-シリーズ。高速成膜を実現した、Spacital(空間分離型)ALDの Beneq C2Rなどの光学成膜に適したALD装置をご紹介します。

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企業PR

Beneq is the home of atomic layer deposition.1984 年に、ALD を使用した世界初の工業生産を確立しました。現在、R&D (TFS 200、TFS 500)、半導体デバイス製造 (Transform TM)、3D およびバッチ生産 (P400A、P800、P1500)、超高速空間 ALD (C2R)、ロールツーロール ALD (Genesis) 向けの製品で市場をリードしています。

Beneq 独自の開発サービスにより、新しい ALD プロセスの顧客による導入と概念実証が簡素化され、コーティング サービスでは最先端の ALD 生産をアウトソーシングすることで市場投入までの時間が短縮されます。当社のエンジニアと専門家のチームは、研究者が ALD ツールを活用できるようにすることに貢献しています。

Beneq株式会社 取り扱い製品

Beneq C2R

Beneq C2R

Beneq C2R™は、当社のクラスタ対応装置に対応可能な、Spatial (空間分離型)ALD装置です。
Beneq C2Rはプラズマ励起式ALD(PEALD)プロセスを高速回転(200rpm)を用いた空間分離にてALD成膜を行います。in-situ BBM (optical broadband monitoring)にて成膜中に膜厚測定を行うことができます。ハイスループットのC2Rは光学薄膜成膜の生産に適した装置です。

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Beneq P800

Beneq P800

Beneq P800は、形状の複雑な大型部品や大規模バッチの小型部品の成膜を行うよう特殊設計されています。当社のお客様には、光学膜、半導体装置部品の耐食膜、およびガラスや金属薄板にALDを行う各種用途においてP800をご利用頂いています。

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