| 住所 | 〒715-0004 岡山県井原市木之子町167 |
|---|---|
| TEL | 0866-62-1367 |
| FAX | 0866-62-1380 |
| URL | http://www.quark-tec.com/ |
| info@quark-tec.com | |
| 設立年 | 2006年 |
| 資本金 | 20,000,000円 |
| 従業員数 | 30名 |
| 代表取締役 | 中村 勝 |
| 最終更新日：2025年03月11日 |
ＵＶ光源専門メーカとして高付加価値なＵＶ光をご提供いたします。
世界初の面発光エキシマＵＶ照射装置をご紹介します。
マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。
弊社独自技術の面発光のランプにより歩留まり低減、タクトタイム短縮、品質向上に貢献いたします。
その他、UV硬化用UV-LED、UVレーザーのUV光源を用途に合わせてご提案いたします。
波長 265 , 275 , 280 ,285 , 300 , 310 ,325 , 345 , 355nmをラインナップ！
深紫外 280nmで130mW/cm2を達成しました。
深紫外はこれからのアプリケーションを革新する可能性を秘めています。
当社は実験、量産など、現実的な価格と性能をご提供いたします。
レーザー発振器ラインナップ
・355nmレーザー
平均出力：15W @ 50kHz
・266nmレーザー
平均出力：2.5W @30kHz
光学系ラインナップ
・ガルバノシステム
・ラマン分光システム
用途
・レーザーデボンディング
・レーザーリフトオフ（LLO）
・ITOの除去
・マイクロビアホール穿孔
・ポリイミドの切削および掘削
・分析/分光
当社UVレーザーの特徴
・コンパクトな発振器
・エキシマレーザー等他のUVレーザーに比べ低価格
・レーザー発振器単体以外に光学系を含めたシステムとしても提供
・高フォトンエネルギー
従来の光洗浄改質で用いられてきた低圧水銀ランプ（波長185+254nm)に比べ、フォトンエネルギーが高い172nmの真空紫外光(UVU)を発します。
・瞬時点灯消灯
瞬間的に点灯と消灯ができるため、シャッターなど不要です。常時点灯する必要がないため、長くランプを使用できます。
・水銀フリー
ランプに水銀を使用していません。
・波長ラインナップ
265 / 275 / 280 / 285 / 300 / 310 / 345 / 355 / 365 / 385 / 395 / 405nm
深紫外波長にも対応しております。
・自由設計
波長や照度、照射形状を自由にカスタマイズすることができます。
eVIOは紫外線本来のウイルス抑制・除菌能力を保持したまま、人の身体への影響を抑える先進技術によって、従来の紫外線波長では不可能だった有人環境下での使用を実現した、全く新しい紫外線ライトです。
有人環境下でも紫外線による空間・物体表面の除菌ができます。
エキシマランプによるUV照射は、他の方法で見られる表面の欠陥、基材への熱ダメージがありません。
低熱で表面処理ができ、環境への影響もないため、各方面より注目されております。
クォークテクノロジーでは、高照度・高均一性の面発光タイプから搬送処理用スキャンタイプ、低コストなチューブタイプまで幅広い光源ラインナップを取り揃えておりますのでお客様のご要望に応じたご提案が可能です。
【用途例】
表面洗浄・改質／除電／密着性向上／ウェハ洗浄／マスク洗浄／レジストアッシング／コータ前処理／ガラス基板洗浄／ポリマ表面改質／etc.
UV-LEDは環境負荷が小さいUV光源です。また、UVランプよりも消費電力が抑えられることからも、より地球環境にやさしいUV光源といえます。
クォークテクノロジーでは、各種UV-LEDユニットを必要な波長、照射強度、ワークサイズに合わせてオーダーメイドしており、最適条件でのUV処理工程をご導入可能です。
【用途例】
UV硬化・接着／レジスト改質／パネル貼り合わせUV硬化／etc.
UVレーザーは、各素材に対して吸収率が非常に高く、熱ダメージを与えない加工ができるため超微細加工が可能です。
また、ウェハ支持基板のレーザーデボンディング（LLO）などのデボンディング工程に用いられるケースが増えております。
クォークテクノロジーでは、高出力、高寿命の最大520×520mmの広角照射が可能なスキャナシステムをトータル提案いたします。
【用途例】
分析機器／検査用光源／レーザーデボンディング（LLO）／マイクロビアホール穿孔／フィルムガラス剥離／etc.
