| 住所 | 〒167-0051 東京都杉並区荻窪5-22-9 藤ビル2F |
|---|---|
| TEL | 03-3220-5871 |
| FAX | 03-3220-5876 |
| URL | https://www.jawjapan.com/ |
| info@jawjapan.com | |
| 代表取締役社長 | 堤 浩一 |
| 最終更新日：2025年10月02日 |
弊社は、非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターの専門メーカーです。真空紫外から遠赤外までの広い波長範囲をカバーする世界一多種な装置と、様々な産業および研究分野での応用例をご紹介いたします。
弊社は非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターの専門メーカーです。真空紫外から遠赤外までの広い波長範囲をカバーする世界一多種な装置と、様々な産業および研究分野での応用例をご紹介いたします。
高度な測定性能
RC2はミューラー行列の全16成分を取得できる世界初の分光エリプソメーターです。極めて高度なサンプル、あるいはナノ構造のサンプルなどの特徴を解き明かすためには、ミューラー行列全成分を測定可能なエリプソメーターが適しています。
広い波長範囲
RC2は紫外（最小193nm）から近赤外(最大2500nm)までの波長をカバーできる初めてのCCDタイプの分光エリプソメーターです。
alpha 2.0 は、薄膜の膜厚や屈折率の日常的な測定に適した手頃な価格の分光エリプソメーターです。分光エリプソメトリー技術を活かしながら簡単にご使用いただくために、コンパクトな設置面積とシンプルなデザイン、そして使いやすさを重視して設計されています。サンプルをステージに置き、膜に合ったモデルを選択し、測定ボタンを押すだけで、数秒以内に結果が得られます。
波長範囲：400-1000 nm
先進的な光学設計、広い測定波長範囲、そして高速データ取得といった特徴を持ち、極めて汎用性の高い装置です。スピードと正確さを兼ね備えています。回転補償子型エリプソメトリーの技術と、即座に全スペクトル（数百波長）を取得できる高速CCD検出器とが一体になりました。
（特許取得済みのRCE技術を使用）
theta-SEは300mmマッピングステージと微小測定スポットサイズ、高速サンプルアライメント、カメラ、そして最新の二重回転光学素子型技術を備えており、薄膜の膜厚と光学特性の均一性を評価するために必要な要素がすべて揃っています。
波長範囲 400~1000nm
iSEは薄膜の成膜過程をリアルタイムでモニタリングするために開発された全く新しいin-situ用の分光エリプソメーターです。ユーザーは膜の光学定数の最適化、0.1nm以下の感度での薄膜成長過程の制御および薄膜の成長速度のモニタリングができます。
波長範囲 400-1000 nm
